ATW200

全自動ウエハテーパ

ATW200

主な特徴

先進的ESDローラーテーピング

全自動テープの供給&マウント

真空フォーク付きマルチリンクウエハ搬送ロボット

ウエハ位置と曲げインテリジェントマッピング

ウエハ配置用ファイバーセンサー

ESD接触ウエハチャックの加熱によって種々のウエハを処理できる(任意)

ウエハカセットのロード&アンロード

15インチタッチパネルLCDは工業PCによって制御される

全部アルミニウムプロファイルで構成

ESD保護のためイオンブロワーを内臓する

低張力制御技術



詳細については、お問い合わせください

オーブン
ウェハマウンタ
新技術の開発
デジタル顕微鏡
選択的なピーク溶接システム

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