ATW200pro

全自動ウエハテーパ

ATW200pro

主な特徴

先進的ESDローラテーピング(オプションとしてのローラヒータ)

全自動テープ供給&インナープレカット

マルチリンクウエハ搬送ロボット(真空またはベルヌーイアーム)での構成

ウエハ位置と曲げインテリジェントマッピング

ウエハ配置用ファイバーセンサー

プリカットテープ配置用CCD

ESDテフロンめっきチャック によって様々なウエハを処理する (チャックヒーター任意 )

ウエハカセットローディングとアンローディング(ウエハボックスは任意)

17インチタッチパネルLCDは工業PCによって制御される

ESD保護のためイオナイザを内臓する

テーピングプロセスのための低張力制御技術



詳細については、お問い合わせください

オーブン
ウェハマウンタ
新技術の開発
デジタル顕微鏡
選択的なピーク溶接システム

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