ATW300

全自動ウエハテーパ

ATW300

主な特徴

先進的ESDローラーテーピング

全自動テープの供給&マウント

マルチリンクSCARAウエハ搬送ロボットで構成

ウエハ位置インテリジェントマッピング

ウエハ配置用非接触ビームセンサ

ESDテフロンめっきチャック によって様々なウエハを処理する

ウェーハカセット& FOUP / FOSBローディング&アンローディング

自動ウエハエッジプロファイル切断

17インチタッチパネルLCDは工業PCによって制御される

全SSTカバー&ドアはアルミニウムプロファイルフレームで構成

ESD保護のためイオナイザを内臓する

UV & UVテープ機能

テーピングプロセスのための低張力制御技術

標準設定デュアルロードポート



詳細については、お問い合わせください

オーブン
ウェハマウンタ
新技術の開発
デジタル顕微鏡
選択的なピーク溶接システム

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