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MITO DENKO
SiC・GaNウェーハ研削用砥石(硬脆性材用)
特長
1.様々な研削盤に適用可能な、SiCウェーハ面研削用 砥石です。
2.4inch～8inch SiCまで適用可能で、アズスライスウェーハ、 レーザースライスウェーハ、アズラップドウェーハ、 ミラーウェーハなど工程に合わせて砥石の調整が可能です。
3.加工途中のドレスは不要で、使用初期から最後まで ノンドレスでの加工が可能です。
4.また、GaNの加工においてもその能力を発揮します。
5.加工対象：単結晶SiC, GaN
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