MBE-260
スタンダードレーザーMBE装置
特長
260mm径球型チャンバー採用によるコンパクトなデザイン
10mm用赤外線ランプ加熱ユニットを標準装備
6種類の異なるターゲットが使用可能
コンピューターによる自動制御
複数のオプションポートによる高い拡張性
オプションのロードロックチャンバーユニットを取り付けることで操作性がさらに向上