RHEED-1000
高速電子回折システム
特長
超高真空対応可能、簡単に差動排気型に変更可能
最大30KV対応でコンパクトなボディを採用し、小型チャンバーに取付最適、
フランジにΦ34ICFを採用
リモートコントロールボックスを使用せずに、PCから制御します。
最大30kVのコンパクトHV電源
最大1Paシングルディファレンシャルポンピング
100Paまでの高圧で使用可能* 2段式差動ポンピングによる（オプション）
電子ビームがマルチスポットスキャンにより同条件の多重回折モニター（オプション）
