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PLD-M
複合型ＰＬＤ装置
特長
豊富な販売実績に基づく設計により、安定した運用を実現できます
他のスパッタ源や蒸着源を組み合わせることが使用可能です
最大φ2"のサブストーリートサイズに対応し、φ2"専用のランプの採用することで、広範囲な圧力での実験が可能
大面積ＰＬＤに搭載したシーケンスにより最大φ2"の基板サイズに均一な分布を提供するオプション、さまざまなオプションを選択できます
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