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トップペ 製品 MC-3000L
MC-3000L
高性能デジタルマスフローコントローラ
特長
±1.0%S.P. 保証を実現
デジタルインターフェイスは、RS-485 を標準装備
リンテック独自の周囲温度補償方式流量センサを搭載
マイクロプロセッサ内蔵により高機能化を実現
デッドボリュームが小さなダイヤフラム構造のバルブ
高速、高性能なピエゾアクチュエータを採用
耐久性、シール性に優れたメタルシールを採用することで、メンテナンス性が向上
金属ケースと各種フィルタの採用により、高周波ノイズや直流磁界のある環境でも安定した動作
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