STK-6020
ウェハ薄化前の半自動ウェハラミネーター
特長
ウェハサイズ ：6インチ & 8インチ
ウェハの厚さ ：300～750um
ウェハの材質 ：Si、GaAs及びその他
テープ種類 ：ブルーテープとUVテープ（粘着力≤8N/20mm）
テープ幅 ：240～340mm；長さ：100M；厚さ：0.05～0.2mm
貼り合せ原理 ：静電気防止ローラーでの貼合
ラミネート動作 ：（自動フィルム引き）とラミネート
ウェハ用の台盤 ：汎用（一体型）テフロン静電気防止コーティング接触式台盤
台盤の温度 ：室温～100℃"
取り扱い方式 ：ウェハを手動で取り置き
静電気防止 ：テフロン静電気防止コーティング台盤/静電気防止ローラーでの貼合/イオンナイザー
カッティングシステム ：直線型カッター及び円形カッター、8インチのノッチカッティングなし
カッター加熱温度 ：室温~120℃
ウェハ位置決め ：エア駆動Pin Stopper
コントロールユニット ：PLC制御用7インチタッチパネル
安全保護 : 緊急停止ボタンあり
電源＆電圧 ：単相 220V＆10A
圧縮空気 ：圧力５KgのCDA、流量は100L/min
外観 ：白色塗装金属外殻
体積 ：670 mm（幅）×1180 mm（奥行）×1000 mm（高さ）（シグナルタワー含め）
本体重量 ：140kg
