MITO DENKO
半導体チャンバー構造部品
特長
、材料の純度：アルミナの純度99.7%、99.8%、99.9%。
2、工芸タイプ：等方加圧装置による成型、焼結、精密加工など。
3、寸法規格：円盤の直径が φ650mm（長尺の場合は 2000mm まで）以内であれば、全て加工可能。
4、精度範囲：寸法公差は ±0.01mm で、平面度は最高 0.002mm、粗さ（算術平均粗さ）Ra0.2。
5、製品の用途：半導体の物理蒸着（PVD）、化学蒸着（CVD）、エッチング（ETCH）チャンバーの重要な部品。
6、製品の長所：耐食性があり、絶縁性能が良好で、プラズマに対する耐性があるといった特徴を持っている。
