MITO DENKO
セラミックロボットアーム
特長
1、機能 / 役割：主に半導体装置において輸送及び搬送の役割を果たす。半導体装置というロボットの「手」に相当し、ウェーハ / シリコンウェーハを指定された位置に搬送する責任を負う。
2、材料：99.7% のアルミナセラミック材料で、高密度、高硬度、高耐磨耗性という物理的性質を備えており、また良好な耐熱性、優れた機械的強度、高温環境下でも良好な絶縁性、良好な耐食性などの物理的性能も備えている。
3、メリット：ウェーハ / シリコンウェーハの表面が引っかかることを避けることができる；他の物質による汚染を受けることを避けることができる；損傷を避けることができるなど。
