STK 8050
ウェハサイズ:4、6、8インチウェハに適用
取り扱い方式:ウェハを手動で置きと取り出し
ボンディング方式:真空中ボンディング
台盤:各サイズウェハにそれぞれの台盤で対応
コントロールユニット:PLC制御用7インチタッチパネル
UV硬化ユニット:LED UV ランプ
特長
ウェハサイズ:4、6、8インチウェハに適用
取り扱い方式:ウェハを手動で置きと取り出し
ボンディング方式:真空中ボンディング
台盤:各サイズウェハにそれぞれの台盤で対応
コントロールユニット:PLC制御用7インチタッチパネル
UV硬化ユニット:LED UV ランプ