STK 8060
半自動ウェハ仮デボンディング装置
特長
4、6、8インチウェハに適用
ロード/アンロード:手動でウェハ/フレームを取り出し
デボンディング原理:レーザーデボンディング
フレーム位置決め:位置決めピン
コントロールユニット:PLC制御用7インチタッチパネル