STK 1150
半自動LED UV照射機
特長
ワークの仕様 ：6インチ〜12インチFrame＆Waferに対応可能
UV ユニット ：LED UV モジュール 1 セット
UV 波長 ：365nm
UV 照射エネルギー ：50～500mW/cm2で、照射エネルギーをリアルタイムで監視でき、エネルギーはプログラムで調整可能
UV 照射均一性 ：±10% 以下
UV 照射時間 ：0～999secにてプログラムより設定可能
スキャン速度 ：0～100mm /sにてプログラムより設定可能
ランプハウス温度 ：ランプヘッドとランプハウスの温度をリアルタイムで監視
UV ランプタイプ ：LED 型の冷光源で、強いエネルギー、長寿命、低エネルギー消費量、少発熱量が実現
制御ユニット ：PLC とタッチパネル
ロード/アンロード ：手動
電源 ：単相 220V, 10A
ガス ：N₂（オプション）
外観 ：白色塗装外殻
サイズ ：870mm(幅) x 1080mm(奥行き) x 1170mm(高さ)
本体重量 ：约220kg
