STK-7080
床置き型半自動ウェハラミネーター
特長
ローラレス非接触で真空ラミネート
薄ウェハ、GaAs、GaNなどエッジだけ接触可のウェハに適用
自動テープの供給と貼り合わせ
隔離紙を自動回収、UVテープと非UVテープ両方適用
円形カッターで自動的にテープをカッティング
自動的にテープを剥離し、廃棄テープを回収
ウェハ/ウェハフレームを手動で取り置き
6インチ、8インチ非接触式ウェハ台盤、表面接触不可のウェハに有効対応
PLC制御用10インチタッチパネル
ライトカーテン保護と緊急停止ボタンあり
操作状態監視用ブーザと3色シグナルタワー有
