STK-7120
卓上型半自動ウェハラミネーター
特長
ウェハの直径 :8インチ & 12インチ
ウェハの厚さ :100~750um
ウェハの材質 :Si、GaAs及びその他
テープの種類 :ブルーテープとUVテープ(粘着力≤8N/20mm)
テープ幅 :300~400mm;長さ:100M;厚さ:0.05~0.2mm
ウェハフレーム :8"/12" DISCO標準フレーム対応可能
貼り合せ原理 :静電気防止ローラーでの貼合
ウェハ用の台盤 :汎用(一体型)テフロン静電気防止コーティング接触式台盤
取り扱い方式 :ウェハ/ウエハフレームを手動で取り置き
静電気防止 :テフロン静電気防止コーティング台盤/静電気防止ローラーでの貼合/イオンナイザー
カッティングシステム :円形カッター及び直線型カッター
ウェハ位置決め :ウェハ用エア位置決めピン/ウェハリング位置決めスプリングピン
コントロールユニット :PLC制御用7インチタッチパネル
安全保護 : 緊急停止ボタンあり
電源&電圧 :単相 220V&10A
圧縮空気 :圧力5KgのCDA、流量は100L/min
外観 :白色塗装金属外殻
体積 :670mm(幅)×1180mm(奥行)×1000mm(高さ)(シグナルタワー含め)
本体重量 :140kg