STK-7020
卓上型半自動ウェハラミネーター
特長
ウェハの直径 ：4インチ & 8インチ
ウェハの厚さ ：100～750um
ウェハの材質 ：Si、GaAs及びその他
テープの種類 ：ブルーテープとUVテープ（粘着力≤8N/20mm）
テープ幅 ：210～300mm；長さ：100M；厚さ：0.05～0.2mm
ウェハフレーム ：6インチ/8インチ DISCO標準フレーム対応可能
貼り合せ原理 ：静電気防止ローラーでの貼合
ウェハ用の台盤 ：汎用（一体型）テフロン静電気防止コーティング接触式台盤
取り扱い方式 ：ウェハ/ウェハフレームを手動で取り置き
静電気防止 ：テフロン静電気防止コーティング台盤/静電気防止ローラーでの貼合/イオンナイザー
カッティングシステム ：円形カッター及び直線型カッター
ウェハ位置決め ：ウェハ用エア位置決めピン／ウェハリング位置決めスプリングピン
コントロールユニット ：PLC制御用7インチタッチパネル
安全保護 : 緊急停止ボタンあり
電源＆電圧 ：単相 220V＆６A
圧縮空気 ：圧力５KgのCDA、流量は100L/min
外観 ：白色塗装金属外殻
体積 ：670mm（幅）×1180mm（奥行）×1000mm（高さ）
本体重量 ：140 kg
