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トップペ 製品 STK-7200V
STK-7200V
全自動ウェハマウンター（真空）
特長
全自動ウェハマウンター
ローラーなしの特殊な真空取り付け技術（ローラー取り付けはオプション）
標準的な 6インチ、8インチウェハ用の台盤
ベアリング ：6/8 DISCO標準リングにも対応可能
日本製JEL社のウェハ搬送ロボット＆アライナー
汎用（一体型）テフロン静電気防止コーティング接触式台盤
外形寸法 ：1750mm（幅）×1350mm（奥行）×1800mm（高さ）
本体重量 ：890kg
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