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トップペ 製品 STK-7200R
STK-7200R
全自動ウェハローラーマウンター
特長
全自動ウェハマウンター
6インチ 、8インチ ウェハ用台盤
ウェハフレーム ：6インチ/8インチ DISCO標準フレーム対応可能
日本製JEL社のウェハ搬送ロボット＆アライナー
汎用（一体型）テフロン静電気防止コーティング接触式台盤
ウェハ用の台盤 ：汎用（一体型）テフロン静電気防止コーティング接触式台盤
体積 ：1750 mm（幅）×1350 mm（奥行）×1800 mm（高さ）
本体重量 ：870kg
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