STK-5020
半自動ウェハフィルムリムーバー
特長
卓上型 / 4-8インチウェハ用 / 簡単操作
ウェハの厚さ ：150～750 um
フィルム剥離方式 ：テープによる剥離
フィルム剥離角度 ：45 度未満で、5°～45° にて調節可能
ウェハ用の台盤 ：汎用（一体型）テフロン静電気防止コーティング接触式台盤
台盤加熱可能 ：室温～100℃
取り扱い方式 ：手動
ウェハ位置決め ：エア駆動Pin Stopper
コントロールユニット ：PLC制御用7インチタッチパネル
安全保護 : 緊急停止ボタンあり
体積 ：670mm（幅）×1180mm（奥行き）×1000mm（シグナルタワー含む高さ）
本体重量 ：130kg
