STK-5120
半自動ウェハフィルムリムーバー
特長
卓上型 / 8 インチ、12 インチウェハ用 / 簡単操作
ウェハの厚さ:150~750 um
テープ剥離方式:テープによる剥離
テープ剥離角度:45 度未満で、5°~45° に調節可能
ウェハ用の台盤:汎用(一体型)テフロン静電気防止コーティング接触式台盤
台盤加熱可能:室温~100℃
取り扱い方式:手動