MIT-1150

半自動LED UV照射機

mit-1150

製品特徴

6”〜12”Frameに対応可能

UVモジュールはLED冷光源を採用

ランプヘッド/ランプボックスの温度をリアルタイムで観察できる

照射エネルギーをリアルタイムで観測できる

照射エネルギーをプログラムで調整可能

手動ローディング/アンローディング

オプションとして窒素ガスを選択できる。




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ウェハマウンタ
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