製品特徴

卓上型／8"-12"ウェハに対応可能

Si,SiC,GaN,他素材ウェハにも対応可能。

じどうしんくうひふく

フィルムの自動剥離

テフロン帯電防止加工済みの接触式チャックテーブル

チャックテーブルが加熱可能

ウェハを手動で設置と取り出し

詳細については、お問い合わせください