製品仕様

ウェハダイシング前の工程で使用される。

6"/8"ウエハ用

6"または8"DISCO標準リングにも対応可能

帯電防止機能を有するローラーで自動貼合

自動フィルム送りと貼り合わせ

剥離紙を自動的に回収し、UVフィルムと非UVフィルムにも適用

円形カッターで自動的にフィルムをダイシングする

自動的にフィルムを剥離し、廃棄フィルムを回収する

ウェハ/ベアリングを手動で設置と取り出し

チャックテーブルの温度は最高100℃までプログラムでコントロール可能

ライトカーテン保護と緊急停止ボタンを設置

詳細については、お問い合わせください