製品仕様

ウェハダイシング前の工程で使用される。

8"-12"ウエハ用

6"または8"DISCO標準リングにも対応可能

フィルム自動送り

帯電防止機能を有するローラーで自動貼合

ローラーの圧力を調整可能

チャックテーブルが加熱可能

ウェハサイズの交換が簡単

詳細については、お問い合わせください