機械特長

ローラーで全自動ウエハーマウントする

全自動でウエハー／フレームのロード＆アンロードを行う

水平多関節搬送ロボットでウエハー搬送

真空チャックでウエハーを保持する

ウエハーアライメント

ウエハーカセットロードイング

カセットでウエハーの自動マッピングをする

ESDマウンチング　ローラーとESDテフロン付き接触式ウエハーチャック

工業用PCを17インチタッチパネルでの操作

6”& 8”フレームの兼用

Non-UV & UVテープ両方使える

詳細については、お問い合わせください