性能/特長

4"-8"/8"-12"ウェハ用

サポートウェハとデバイスウェハの自動貼り合わせ

薄ウェハにも対応可能

ボンディングウェハを任意ポストで測定可能

真空サーマルプレスボンディング

ウェハカセット/ウェハボックス兼用

Windows OSによるPC制御

カセット内インテリジェントウェハマッピング

SECS/GEMまたはシンプルリンク機能付き

サポートウェハとデバイスウェハの自動的アライメント

詳細については、お問い合わせください