主な特徴

4"-8"/8"-12"ウェハ用

薄ウェハにも対応可能

ウェハカセット/ウェハボックス兼用

ウエハの自動マウンティング

UV照射モジュール内蔵

Windows OSによるPC制御

カセット内インテリジェントウェハマッピング

SECS/GEMまたはシンプルリンク機能付き

デバイスウェハとサポートウェハを熱剥離する

詳細については、お問い合わせください